月別アーカイブ: 2023年12月

大須賀公一教授が計測自動制御学会 SI部門 部門学術業績賞を受賞しました．

計測自動制御学会論文集に掲載された論文:・瀧尻 興太郎, 大須賀 公一, 杉江 俊治:”半導体製造プロセスの出力推定値フィードバックによる圧力制御”, Vol. 58, No. 9 p. 412-… 続きを読む »