一般財団法人FA財団論文賞受賞

計測自動制御学会論文集に掲載された論文:
・瀧尻 興太郎, 大須賀 公一, 杉江 俊治:”半導体製造プロセスの出力推定値フィードバックによる圧力制御”, Vol. 58, No. 9 p. 412-419, 2022 https://doi.org/10.9746/sicetr.58.412
が，一般財団法人FA財団論文賞を受賞しました．