油空圧機器技術振興財団 論文顕彰受賞

計測自動制御学会論文集に掲載された論文:
・瀧尻 興太郎, 大須賀 公一, 杉江 俊治:”半導体製造プロセスにおける流量分岐制御系の提案と最適設計”, Vol. 58, No. 7 p. 317-324, 2022 https://doi.org/10.9746/sicetr.58.317
が，公益財団法人油空圧機器技術振興財団の令和5年度論文顕彰を受けました．

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